一氧化二氮（Nitrous Oxide）又称笑气，无色有甜味气体，是一种氧化剂，在一定条件下能支持燃烧（同氧气，因为笑气在高温下能分解成氮气和氧气），但在室温下稳定，有轻微麻醉作用，并能致人发笑。一氧化二氮和硅烷一起用于在CVD过程中生成氮化硅薄膜。

一氧化二氮(氧化亚氮)用途

  1.超临界溶剂。单独或与氧气混合用作牙科、外科和妇产科的麻醉剂。也可用作防腐剂、制冷剂、助燃剂、烟雾喷射剂。食品工业作为发泡剂和食品的密封剂。电子工业用于二氧化硅的化学气相沉积等离子工艺。军火工业用作推进剂。还可用于气密性检查、原子吸收光谱的载体等。检漏剂、制冷剂，以及用作原子吸收光谱用的助燃剂。.

  2.本产品用作医用麻醉剂、制冷剂、助燃剂、防腐剂、烟雾喷射剂、标准气和平衡气等，也用于半导体制造中的乳化CVD工序及气相淀积氮化硅的氮源。还可作为原子吸收光谱的氧化气体。

  3. 用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积等离子工艺。