三氯化硼,是一种无机化合物,主要用作有机反应催化剂,如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等,也可用作铸镁及合金时的防氧化剂,还可用作制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等的主要原料,还用于电子工业等。
三氯化硼理化特征是无色液体或气体(不燃),有强烈刺激性、酸性气味,易潮解,在潮湿的空气中可产生浓密白色气体,在水中分解为盐酸和硼酸,在醇中分解为盐酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使盐与强酸产生离子作用。
三氯化硼产品用途:
1、高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂(在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体)、离子注入(作为离子注入源,高能量作用下使硼原子离子化,产生硼离子束并注入硅形成P型浅结)、干法蚀刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蚀刻)等过程。
2、可作为许多有机反应中的催化剂(如苯乙烯聚合反应中建议使用,可提高产量及效率)及工业的中间体。
3、 用于制备有机硼化合物的基础材料:乙硼烷;硼酸酯等;用于制备无机硼化合物材料:硼纤维、BN纤维先驱体、BN坩锅等;用于制备硼化物粉末:高纯硼粉(无定型及结晶型)、BN、TiB2超细粉;用于CVD涂层及镀膜工艺:涂覆B、BN、TiB2等保护涂层及膜;用作光导纤维的基础材料;此外还可用于制造太阳能电池元件等工艺过程中; 环氧树脂固化剂;碳纤维石墨化的渗硼工艺。
4、还可用于金属冶炼如铝、镁、锌、铜合金的提纯过程(可脱除熔融金属中的氮化物、碳化物和氧化物。用三氯化硼气体处理熔化的铝,可使铝铸件的性能得到改善。)
5、用作铝、铁、锌、锰、钨、蒙乃尔等合金的焊剂。
6、用于扑灭热处理炉中的Mg火。
7、高能燃料及火箭推进剂中,三氯化硼作为硼源以提高BTU值。