电子级气体大流量、不间断、稳定输送的发展趋势

    电子级气体有大流量、不间断、稳定输送的发展趋势，那么如何满足大规模量产工厂对电子级气体大流量、不间断、稳定输送的要求是一个挑战。

    电子级气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。

    对于大流量的BSGS，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑电子级气体经过调压阀减压后的焦耳-汤普逊效应。一般而言，气体减压后，温度会降低，甚至液化。这会照成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。气体监控系统（GMS）通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。

    针对液化气体（如氨气）的BSGS，采用直接加热液体的气化输送系统(Evaporator)已经研发成型，很快会在BSGS的应用上推广。

    以上就是新澳门原料网点站的小编为您带来的电子级气体大流量、不间断、稳定输送的发展趋势的分析。那么如果您有电子级气体的需求，请联系新澳门原料网点站，我们将竭诚为您服务！