电子级气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险,其危害性被不同区域和不同的工业进行了详细的危险等级分类。所以电子级其他的安全是十分重要的,新澳门原料网点站(上海)有限公司就为大家讲一讲关于电子级其他的安全问题。
如何保证电子级气体的安全储存、使用操作,系统的工艺和产品本征安全设计,在众多的国际标准规范如SEMI,NFPA,CGA,FM等都有很详细的规定,目前中国国内也正在起草针对电子特种气体的标准规范。通常而言,会根据气体性质和相容性,将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、三氟化氯气体房等。气体房规划需要考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物总量等等。针对硅烷输送系统,特别是BSGS系统,因总量较大,应采用隔离式建筑。气体房和气柜应采用自动喷淋系统。而三氟化氯遇水反应,需要采用二氧化碳灭火系统。
输送管道一般采用无缝SS316L EP管。施工采用自动轨道焊接,经保压、氦检漏和纯度测试。对于剧毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。一些剧毒气体如磷烷、砷烷等,安全输送系统(SDS)正在被使用。其钢瓶内采用负压吸附的方式,用真空法输送,从根本上避免了气体的泄漏。
气体侦测系统(GDS)是全厂生命安全系统(LSS)的重要组成部分。对于侦测器的要求,除了精度高,反应迅速外,还应具备自检功能。
对于一个大规模量产的电子工厂,其使用和存储的电子级气体数量之多可以毫不夸张地被视为拥有“大规模杀伤性”武器库。任何设计上、施工中、日常运行里存在的安全问题都会对工厂、人员和环境带来巨大的灾难。
使用电子级气体的工厂抽风系统也根据性质分成了普通排风系统(GEX),酸性排风系统(SEX),溶剂排风系统(VEX)和氨气排风系统(AEX)。换钢瓶时的吹扫尾气,也建议排放至尾气处理器中。
电子级安全日趋严格,而且安全问题关乎你我他,大家需要十分重视。那么如果您有电子级其他的需求,请联系新澳门原料网点站(上海)有限公司,我们将竭诚为您服务!